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조회수 1972
카테고리 2012
No 52
제목 J. D. Kwon, J. Lee, K. Nam, D. kim, Y. Jeong, S. Kwon, and Jin-Seong Park, The impact on in-situ-hydrogen-plasma enhanced atomic layer deposition, Current Applied Physics 12, S134

J. D. Kwon, J. Lee, K. Nam, D. kim, Y. Jeong, S. Kwon, and Jin-Seong Park, The impact on in-situ-hydrogen-plasma enhanced atomic layer deposition, Current Applied Physics 12, S134

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