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조회수 1995
카테고리 2012
No 50
제목 D. Choi, B. Kim, K. B. Chung, Jin-Seong Park, Studies on optical, chemical, and electrical properties of rapid SiO2 atomic layer deposition using tris(tert-butoxy)silanol and trimethyl-aluminum, Mater. Reser. Bull. 47, 3004

D. Choi, B. Kim, K. B. Chung, Jin-Seong Park, Studies on optical, chemical, and electrical properties of rapid SiO2 atomic layer deposition using tris(tert-butoxy)silanol and trimethyl-aluminum, Mater. Reser. Bull. 47, 3004

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