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조회수 211
카테고리 2018
제목 [국내등록특허][서울산학협력단][P20180099OP] [원자층 증착법과 분자층 증착법을 이용한 초미세 패터닝 기술 개발]
[국내등록특허][서울산학협력단][P20180099OP] [원자층 증착법과 분자층 증착법을 이용한 초미세 패터닝 기술 개발]
- 귀교관리번호: P20180099OP
- 출원번호/출원일자: 10-2018-0061692 / 2018.05.30
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