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카테고리 2018
제목 [국내등록특허][서울산학협력단][P20150163O​P] [UV/O3 기능이 내장된 저온 분무 기상 증착 장비 및 이를 이용한 저온 Aluminum oxide (Al2O3) 박막 성막 기술]
[국내등록특허][서울산학협력단][P20150163O​P] [UV/O3 기능이 내장된 저온 분무 기상 증착 장비 및 이를 이용한 저온 Aluminum oxide (Al2O3) 박막 성막 기술]
 

- 귀교관리번호: P20150163OP

 

 

- 출원번호: 10-2015-0058244

 

 

- 권리자: 한양대학교 산학협력단

첨부파일