[국내특허출원][서울산학협력단][P20180783OP][기체 확산 억제 기능을 갖는 SiNx박막이 활용된 세 층이하의 Si기반의 박막봉지 소재, 구조 및 공정기술]특허가 출원되었습니다.


- 귀교관리번호: P20180783OP
- 출원번호: 10-2019-0094862
- 권리자: 한양대학교 산학협력단
- 출원일 : 2019.08.05