[국내특허출원][서울산학협력단][P20180672OP][Less mask 박막 트랜지스터를 위한 Etching 고 선택비를 가진 ALD 기반 산화물 반도체 증착법]특허가 출원되었습니다.


- 귀교관리번호: P20180672OP
- 출원번호: 10-2019-0020017
- 권리자: 한양대학교 산학협력단
- 출원일 : 2019.02.20