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카테고리 2021
No 261
제목 27. [ACS Applied Materials & Interfaces] Dry-etchable molecular layer-deposited inhibitor using annealed indicone film for nanoscale area-selective deposition
27. [ACS Applied Materials & Interfaces] Dry-etchable molecular layer-deposited inhibitor using annealed indicone film for nanoscale area-selective deposition


Seung-Hwan Lee, Hye-Mi Kim, GeonHo Baek, Jin-Seong Park
첨부파일
acsami.1c16112.pdf