홈페이지의 새로운 패러다임

지속적인 연구개발을 통한 제품개발과 품질향상에 노력하고 있습니다.

journal

journal
patent
conference
 

PUBLICATION  Journal

journal

 

 

조회수 1381
카테고리 2010
No 26
제목 J. Kwon and Jin-Seong Park, Investigating the TiN Film quality and growth behavior for plasma-enhanced atomics layer deposition using TiCl4 and N2/H2/Ar radicals, J. Korean Phys. Soc. 57, 806

J. Kwon and Jin-Seong Park, Investigating the TiN Film quality and growth behavior for plasma-enhanced atomics layer deposition using TiCl4 and N2/H2/Ar radicals, J. Korean Phys. Soc. 57, 806

첨부파일