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카테고리 2019
No 203
제목 16. [ACS Appl. Mater. Interfaces] Amorphous IGZO TFT with High Mobility of ∼70 cm2 /(V s) via Vertical Dimension Control Using PEALD
16. [ACS Appl. Mater. Interfaces] Amorphous IGZO TFT with High Mobility of ∼70 cm2 /(V s) via Vertical Dimension Control Using PEALD


Jiazhen Sheng, TaeHyun Hong, Hyun-Mo Lee, KyoungRok Kim, Masato Sasase, Junghwan Kim, Hideo Hosono, and Jin-Seong Park
첨부파일
acsami.9b14310.pdf