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조회수 201
카테고리 2019
No 188
제목 1. [Ceramic International] Optimization of a SiOx/SiNxOyCz multilayer structure for a reliable gas diffusion barrier via low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition
1.[Ceramic International] Optimization of a SiOx/SiNxOyCz multilayer structure for a reliable gas diffusion barrier via low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition  

Ju-Hwan Han, Su Ho Lim, Jin-Myung Choi, Seong-Hyeon Lee, Woojin Jeon, Jin-Seong Park
 
첨부파일
Optimization of a SiOxSiNxOyCz multilayer structure for a reliable gas.pdf