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카테고리 2018
No 179
제목 11. [ceramics international] Chemistry of SiN⁠x thin film deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition
11. [ceramics international] Chemistry of SiN⁠x thin film deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition
Ju-HwanHanaJin-MyungChoiaSeong-HyeonLeeaWoojinJeonbJin-SeongParka

첨부파일
1-s2.0-S0272884218321540-main.pdf