ȨÆäÀÌÁöÀÇ »õ·Î¿î ÆÐ·¯´ÙÀÓ

¾ðÁ¦³ª °í°´´ÔÀÇ ¼ÒÁßÇÑ ¸ñ¼Ò¸®¿¡ ±Í ±â¿ïÀ̰ڽÀ´Ï´Ù.

°øÁö»çÇ×

Notice
Lecture
Board
Gallery
°í°´º¸È£Á¤Ã¥
¼­ºñ½ºÀÌ¿ë¾à°ü
°³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§
À̸ÞÀϹ«´Ü¼öÁý°ÅºÎ
 

°í°´¼¾ÅÍ  lecture

notice


Á¦¸ñ [±â»ç] [ìÑ»çÀÌÆ®]"»ç¶÷¡¤Á¤º¸ ÇÔ²² ºüÁ®³ª°¡´Â '±â¼úÀüÀï' ½Ã´ë, Â÷¼¼´ë ±â¼ú ¼±Á¡ Àû±Ø ´ëÀÀÇØ¾ß"
ÀÛ¼ºÀÚ °ü¸®ÀÚ
ÀÛ¼ºÀÏÀÚ 2018-08-01

¡°ÈĹßÁÖÀÚÀÎ Áß±¹ÀÌ °ø°ÝÀûÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½Å±â¼ú¿¡ ÅõÀÚÇϸ鼭 ±â¼ú ÀüÀïÀº ÀÌ¹Ì ½ÃÀ۵ƽÀ´Ï´Ù. ¿ì¸®´Â ´õ Àû±ØÀûÀ¸·Î ¿¬±¸°³¹ß¿¡ ÀÓÇØ¾ß ÇÕ´Ï´Ù. ±× ¾î´À ¶§º¸´Ù »ê¡¤ÇС¤¿¬ÀÇ ³ôÀº °ü½É°ú Çù·ÂÀÌ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù.¡±

30ÀÏ ÀÎõ ¼Ûµµ ÄÁº¥¼Ç¼¾ÅÍ¿¡¼­ °³¸·ÇÑ Á¦18ȸ ±¹Á¦¿øÀÚÃþÁõÂø(ALD) ÄÜÆÛ·±½º ÇÁ·Î±×·¥ ÀÇÀåÀ» ¸ÃÀº ¹ÚÁø¼º ÇѾç´ë ±³¼ö´Â ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼­ Â÷¼¼´ë °øÁ¤À» ½ÇÇöÇÒ ±â¼ú·Î ALD¸¦ ²Å¾Ò´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ ¹Ì¼¼È­¿Í Ç÷º½Ãºí¡¤Æú´õºí µî ÇÑÃþ ÇüŰ¡ ÀÚÀ¯·Î¿öÁø À¯±â¹ß±¤´ÙÀÌ¿Àµå(OLED)¸¦ ±¸ÇöÇϴµ¥ ALD ±â¼úÀÌ Å« ¿ªÇÒÀ» ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù°í Àü¸ÁÇß´Ù.

ALD ±â¼úÀº ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼­ »ó¿ëÈ­µÆÀ¸³ª µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀåÀº ¾ÆÁ÷ ¿¬±¸°³¹ß ´Ü°è¿¡ ¸Ó¹°·¶´Ù. ±âÁ¸ CVD °øÁ¤º¸´Ù µµÀÔ ºñ¿ëÀÌ ºñ½Î°í Á¦Ç° »ý»ê¿¡ °É¸®´Â ½Ã°£ÀÌ ±æ¾î¼­ »ý»ê¼ºÀÌ ÁÁÁö ¾Ê±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. À̸¦ °³¼±Çϱâ À§ÇØ ²ÙÁØÈ÷ ¿¬±¸°³¹ßÇϰí ÀÖÀ¸³ª ¾ÆÁ÷ ¾ç»ê µµÀÔÀº ¸Á¼³ÀÌ´Â ºÐÀ§±â´Ù.

Áß±¹ÀÌ µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿¡ ÀÌ¾î ¹ÝµµÃ¼ ±¹»êÈ­¿¡ º»°Ý ³ª¼­¸é¼­ ALD ±â¼úÀÌ ´Ù½Ã ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ±â¼ú ÃʰÝÂ÷¸¦ ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇÙ½É Áß Çϳª·Î ALD°¡ ²ÅÈù´Ù.

¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼­´Â ±ØÀڿܼ±³ë±¤(EUV) °øÁ¤ µµÀÔÀÌ È®»êµÇ¸é¼­ ¹Ì¼¼ ÆÐÅʹ׿ëÀ¸·Î ALD ¼ö¿ä°¡ È®»êµÇ°í ÀÖ´Ù. ¿þÀÌÆÛ¿¡ ³ª³ë ¼öÁØÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÐÅÏÀ» »õ±â·Á¸é ÁõÂøÇÏ´Â ¸·ÀÇ µÎ²²µµ ¾ã¾ÆÁ®¾ß ÇÑ´Ù. ALD´Â ¿øÀÚ´ÜÀ§·Î ¹Ì¼¼ÇÏ°Ô ¸·À» Çü¼ºÇϹǷΠ±âÁ¸ ÁõÂøÀåºñº¸´Ù EUV °øÁ¤¿¡ ÃÖÀûÈ­µÈ ±â¼ú·Î Æò°¡¹Þ´Â´Ù.

µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀå¿¡¼­´Â Ç÷º½Ãºí OLED¿¡ ÀÌ¾î Æú´õºí, ·Ñ·¯ºí µî Â÷¼¼´ë OLED µð½ºÇ÷¹À̰¡ ¾ç»êÀ» ¾Õµ×´Ù. ALD ±â¼úÀº ¼öºÐ°ú »ê¼Ò¿¡ Ãë¾àÇÑ OLED À¯±â¹°À» º¸È£ÇÏ´Â ºÀÁö°øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹«±â¸·À» Çü¼ºÇÒ ¶§ CVD ´ë½Å ALD¸¦ Àû¿ëÇÏ¸é Æú´õºíó·³ ÆÐ³ÎÀ» ±¸ºÎ·È´Ù Æìµµ ºÀÁö¸·À» ưưÇÏ°Ô À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. Æú´õºí, ½ºÆ®·¹Ã³ºí µî ´Ù¾çÇÑ ÇüÅ ÆÐ³ÎÀÌ ³ôÀº ǰÁú°ú ½Å·Ú¼ºÀ» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇÙ½É ±â¼ú Áß Çϳª´Ù.

À̰°Àº °ü½É¿¡ ÈûÀÔ¾î ¿ÃÇØ ±¹Á¦ ALD ÄÜÆÛ·±½º¿¡ ¿ª´ë ÃÖ´Ù Âü°¡ÀÚ°¡ ¸ô·È´Ù. Áö³­ÇØ 914¸íÀÌ »çÀü µî·ÏÇß°í ¿ÃÇØ´Â ¾à 950¸íÀÌ »çÀü µî·ÏÇß´Ù. ½ÇÁ¦ Âü°¡ÀÚ¼ö´Â ¾à 1000¸íÀ» ³Ñ¾î¼³ Àü¸ÁÀÌ´Ù. À̹ø ÄÜÆÛ·±½º¿¡¼­´Â °¢ ½ÃÀå¿¡¼­ ALD¸¦ µµÀÔÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ±â¾÷ »ç·Ê¿Í ¿¬±¸ È帧À» ´ã¾Ò´Ù.

¹Ú ±³¼ö´Â ¿ÃÇØ ±¹Á¦ ALD ÄÜÆÛ·±½º°¡ ±¹³» µð½ºÇ÷¹ÀÌ¡¤¹ÝµµÃ¼ ¾÷°èÀÇ ALD ±â¼ú·ÂÀ» ÇÑ ´Ü°è ³ôÀÌ´Â Ã˸ÅÁ¦°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇß´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå¿¡¼­´Â ALD ±â¼ú ÀÚü´Â ¹°·Ð »õ·Î¿î ÇÁ¸®Ä¿¼­ Àç·á¸¦ ã´Â°Ô ¼÷Á¦´Ù. µð½ºÇ÷¹ÀÌ ½ÃÀåÀº Á» ´õ Àû±ØÀûÀ¸·Î ALD ±â¼ú µµÀÔÀ» ½ÃµµÇØ¾ß ÇÑ´Ù°í ºÃ´Ù.

¹Ú ±³¼ö´Â ¡°ALD´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É ±â¼úÀÌÁö¸¸ ¼ÒÀç ÇѰ迡 ´ÞÇØ »õ·Î¿î Àç·á¸¦ ã´Â°Ô ¼÷Á¦¡±¶ó¸ç ¡°ÃÖ±Ù ¹Ì±¹°ú À¯·´¿¡¼­ °ü·Ã ¿¬±¸°¡ Ȱ¹ßÇÏ´Ù¡±°í ¼³¸íÇß´Ù. ±¹³»¿¡¼­µµ ÇѰ踦 µ¹ÆÄÇϱâ À§ÇØ ¹ÝµµÃ¼ Àü¹æ±â¾÷Àº ¹°·Ð Àåºñ¡¤Àç·á ¾÷ü°¡ Çù·ÂÇØ µ¹ÆÄ±¸¸¦ ¸¶·ÃÇÏ·Á´Â ½Ãµµ°¡ ÀÌ·ïÁö°í ÀÖ´Ù.

±×´Â ¡°ÈÄ¹ß °æÀï±¹À¸·Î ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ ÀηÂÀÌ À̵¿ÇÏ¸é °ü·Ã Á¤º¸°¡ ÇÔ²² ºüÁ®³ª°¡´Â °ÍÀº ¸·±â Èûµç È帧¡±À̶ó¸ç ¡°ÀÌ¹Ì ¹«¼­¿î ÀüÀïÀÌ ½ÃÀÛµÈ ¸¸Å­ »õ·Î¿î Àç·á¿Í ±â¼úÀ» ¼±Á¡ÇØ ÇѰ踦 ¶Ù¾î³Ñ´Â ½Ãµµ¸¦ ÇØ¾ß ÇÑ´Ù¡±°í °­Á¶Çß´Ù.

¹è¿ÁÁø µð½ºÇ÷¹ÀÌ Àü¹®±âÀÚ withok@etnews.com
¢º ÀüÀڽŹ® ¹Ù·Î°¡±â
[Copyright ¨Ï ÀüÀڽŹ® & ÀüÀڽŹ®ÀÎÅͳÝ, ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]https://news.naver.com/main/read.nhn?mode=LSD&mid=sec&oid=030&aid=0002728115&sid1=001
´Ù¿î·Îµå¼ö 0
÷ºÎÆÄÀÏ